반도체 장비 및 클린룸용 5축 밀링 세라믹 절연체

위험 부담이 큰 반도체 제조 및 클린룸 환경에서는 모든 부품이 완벽한 성능을 발휘해야 합니다.PFT, 우리는 제작을 전문으로 합니다5축 밀링 세라믹 절연체정밀도와 신뢰성을 재정의합니다. 20개 이상의수년간의 전문성을 바탕으로, 당사의 솔루션은 반도체 장비의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되어 매우 민감한 환경에서도 열 안정성, 전기 절연성, 오염 없는 작동을 보장합니다.

왜 당사의 5축 밀링 세라믹 절연체를 선택해야 할까요?

1.고급 제조 역량

우리 시설에는 다음이 갖춰져 있습니다최첨단 5축 CNC 밀링 머신알루미나(Al₂O₃), 탄화규소(SiC), 질화알루미늄(AlN)과 같은 첨단 세라믹 소재의 형상을 미크론 수준의 정밀도로 가공할 수 있습니다. 기존 방식과 달리 5축 가공은 웨이퍼 리프트 핀, 증착 챔버 부품, 플라즈마 내성 절연체와 같은 부품에 필수적인 복잡한 형상을 가공할 수 있습니다.

주요 특징:

•정도:ASML 리소그래피 도구나 Lam Research 에칭 시스템에 완벽하게 통합할 수 있는 허용 오차는 ±0.005mm입니다.
•재료의 다양성:99.8% 알루미나, 고순도 SiC 및 기타 고급 세라믹에 최적화되었습니다.
•표면 마감:ISO 1등급 클린룸에서 입자 발생을 최소화하기 위해 Ra <0.2μm를 유지합니다.

2.독점 공정 엔지니어링

우리 엔지니어들은 개발했습니다폐쇄 루프 프로세스 제어가공 중 세라믹의 취성에 적응하는 소재입니다. 건식 밀링 기술과 실시간 진동 감쇠 기술을 결합하여 극한의 열 사이클링(최대 1,600°C)에서도 균열 없는 표면과 연장된 부품 수명을 달성합니다.

혁신 스포트라이트:

•스트레스 해소 프로토콜:CVD 응용 분야에서 AlN 절연체의 미세 균열을 최소화합니다.
•가공 후 처리:HIP(열간 등방압성형)는 밀도와 내식성을 향상시킵니다.

3.엄격한 품질 보증

모든 절연체는 다음을 겪습니다.12단계 검사, 포함:

•CMM(좌표측정기)중요한 차원의 검증.
•헬륨 누출 테스트진공 호환성을 위해.
•EDS(에너지 분산형 X선 분광법)재료의 순도를 검증합니다.

우리의ISO 9001/14001 인증 시스템원자재 조달(CoorsTek 등 1계층 공급업체에서 조달)부터 최종 포장까지 추적성을 보장합니다.

응용 분야: 정밀성과 성능이 만나는 곳

당사의 절연체는 다음과 같은 점에서 신뢰받고 있습니다.

•에칭 및 증착 도구:Applied Materials™ 모듈의 플라즈마 저항성을 위한 SiC 코팅 구성 요소.
•이온 주입기:웨이퍼 미끄러짐을 방지하기 위해 정전기 방지 코팅이 된 알루미나 리프트 핀입니다.
•계측 시스템:EUV 리소그래피 단계용 저열팽창 절연체.

사례 연구:한 반도체 OEM은 당사의 맞춤형 SiC 샤워헤드로 전환한 후 툴 가동 중지 시간을 40%나 줄였습니다. 이 제품은 300mm 웨이퍼 가공에서 경쟁사 제품보다 성능이 뛰어났습니다.

제조업을 넘어: 파트너십 접근 방식

•신속한 프로토타입 제작:CAD 파일을 제출하면 7일 안에 기능적 프로토타입을 받아볼 수 있습니다.
•현장 클린룸 포장:직접적인 도구 통합을 위한 옵션 Class 10 클린룸 조립.
•평생 기술 지원:당사 엔지니어는 마모 분석 및 재가공 서비스를 제공하여 구성품의 수명 주기를 연장합니다.